二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9191119 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種超高真空、單晶圓行星反應器，用於先進的半導體加工應用。利用生產級設備架構，AKT Endura 5500反應堆可以部署在300毫米或更大的織物中，使先進材料能夠沈積成精密的納米。AMAT ENDURA 5500反應堆配有一個預先對準的雙萬向節旋轉和固定頭，帶有集成的石英查看窗口，方便操作員進入，並在整個運行過程中提供暢通無阻的視圖。這樣就可以在處理過程中對晶片進行連續監控,從而能夠監控沈積速率和目標厚度。由於集成了Quartz Viewing窗口，該系統可以用於金屬和介電膜的單晶片或批處理模式。APPLICED MATERIALS Endura 5500反應堆配備了先進的機器人技術和多種載波配置，既方便集成又可擴展性，實現了多種工藝應用。它采用高速機器人，具有低摩擦軌道單元，提供平穩的操作，高效的吞吐量，並在整個過程中精確控制。這允許在單個生產環境中進行全面的配方測試和優化。ENDURA 5500反應堆還與多個氣體分配系統兼容，為先進的工藝應用提供了靈活性和可擴展性。采用可變擴散泵壓力和調節閥的整合式真空機，在適應連續和脈沖氣體引入的同時，保持過程的穩定性和均勻性。這提供了對過程微妙之處的前所未有的控制,例如氣體/源成分、氣體流量、薄膜厚度和襯裏剖面。Endura 5500反應堆能夠進行廣泛的沈積過程。可用於納米結構的高精度膜沈積，下一代晶體管的摻雜柵極形成，晶圓鈍化的超光滑膜沈積。反應堆也適用於NAND Flash、DRAM等高級內存設備架構。此外,它還支持屏障和鈍化膜、粘合層、超薄門氧化物、後端電介質、擴散屏障/蝕刻阻止層以及源/排水擴展。AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500反應堆具有強大的自動化、高精度和低擁有成本,滿足了當今先進半導體加工應用中最關鍵和最苛刻的要求。