二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9192923 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500
ID: 9192923
System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是專門為蝕刻應用而設計的先進半導體反應器。該反應堆結合了物理、化學和熱過程,創建了一個高精度的底物處理系統,能夠蝕刻具有非凡一致性、速度和均勻性的小結構。反應堆設計有一個大直徑的腔室和一個小的工藝窗口,提供了改進的訪問和均勻性。它具有卓越的晶圓運動控制,確保了一致和可重復的過程,以及一個雙蓋系統,以最佳的安全和方便。AKT Endura 5500配備了自動化的Robomatrix FOUP(前開口統一吊艙)接口,允許同時處理多個FOUP。它還提供了廣泛的高級工藝能力,包括高壓和低壓蝕刻、沈積(通過濺射或CVD工藝)、退火和清潔。這樣可以非常精確地快速高效地生產和維護各種設備結構,即使在要求最苛刻的蝕刻應用程序中也能確保質量。AMAT ENDURA 5500配備了板載高級流程控制系統(APCS),可確保批次和流程之間的重復性。APCS提供對所有工藝參數(包括壓力、溫度和氣流)的實時監控,並向用戶提供反饋。這有助於最小化處理時間,最小化停機時間,並提高設備產量和質量。總體而言,APPLIED MATERIALS ENDURA 5500是高精度蝕刻應用程序的理想選擇,它提供了一套高級的工藝功能和強大的APCS幫助。借助AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500,用戶可以享受高效、安全、可靠的蝕刻解決方案,以滿足其要求最苛刻的應用程序的需求。
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