二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9202549 待售
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ID: 9202549
晶圓大小: 8"
PVD System, 8"
Accessories not included
NESLAB III
Robot: HP (Buffer and transfer)
Loadlock: Narrow body
Chamber A: Pass thru
Chamber B: Cool down
Chamber C: Preclean PIK II
Chamber E / F: Orienter / Degas
Wide body: AlCu, TiN
Water cool: MCA+ / 9600 Compressor.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反應堆是一種創新的半導體加工設備,設計用於各種基材的精密等離子體加工和蝕刻。它支持納米級的高級材料加工,是高性能設備制造的理想選擇。AKT Endura 5500的高級體系結構具有廣泛的可配置過程模塊。這允許用戶調整流程參數,以精確滿足個別應用程序的需求。該系統還提供多種氣體控制選項,允許在一個單元內使用各種加工氣體。這些過程包括蝕刻、剝離、氧化、氮化和其他相互擴散過程。AMAT ENDURA 5500的特點是改進了反應室的設計,允許更好的過程均勻性和對室內溫度的精確控制。該腔室采用自動清潔機設計,減少了停機時間,提高了生產率。Endura 5500的高效強健電源控制單元(PCU)旨在確保精確、穩定和可重復運行。PCU允許微調應用過程的RF和DC參數。這允許用戶快速優化其流程設置。ENDURA 5500先進的氣體輸送模塊確保了對各種工藝氣體流動的統一和可重復控制。該模塊允許用戶精確控制氣體流量和壓力,確保準確和可重復的過程結果。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500具有自動化的軟件工具,便於過程控制和資產優化。軟件還提供了可調過程參數,允許用戶實現預編程配方。這有助於用戶快速更改配方並實現快速的流程優化。AMAT Endura 5500是一款多功能機型,能夠處理各種工藝要求。憑借其先進的功能,該設備非常適合高性能設備制造。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500反應堆是一個先進而強大的系統,為廣泛的材料加工應用提供卓越的性能。其先進的體系結構、高效的電源控制和自動化的軟件單元使其成為實現高生產力和精確結果的理想工具。
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