二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9203801 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500反應堆是一種用於半導體和微電子工業的最先進的蝕刻沈積工藝反應堆。這座反應堆的設計是為了獲得最高水平的穩定性，從而在工業上產生最高質量的結果。其基本配置包括腔室、泵送/加工氣體歧管、電源和裝載機/卸載機子系統。所有這些系統都被封裝在一個堅固的外殼中，該外殼具有阻燃性能，而且聲音衰減，從而實現最高的安全標準和性能。腔室具有均勻的垂直和徑向側壁誘導氣體/等離子體均勻性，均勻的過程氣體分布，出色的反應堆清潔能力，以及優越的光學接入。它不需要等離子體源來達到最高性能，並且耐用到足以承受熱沖擊。泵送/處理氣體歧管為輸入過程氣體以及歧管清潔和維護提供控制和壓力。它有一個最小的十倍壓差整個腔室的工藝功能，以及最佳可重復。反應堆的電源可以產生高強度電容耦合等離子體（CCP）或電感耦合等離子體（ICP）進行蝕刻。電源有六個獨立輸出，能夠提供高等離子體能量密度、最佳均勻性和可重復性，以及具有後蝕刻清潔的均勻蝕刻輪廓。裝載機/卸載機子系統允許對基板和晶片進行高效處理。它具有單通裝載機/卸載機，使晶片能夠快速高效地裝卸。該系統還提供精確的晶圓和基板處理，其緊密的機械公差。AKT Endura 5500反應堆是設計清潔、可重復、均勻沈積或蝕刻工藝的理想選擇。它能夠產生超高精度的工藝，從而以最少的浪費獲得最高質量的結果。其最先進的設計確保了材料的最大效率和半導體和微電子行業性能的長壽。