二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9203802 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種最先進的半導體反應堆設備，旨在賦予用戶實現納米級結構光刻圖樣的能力。它結合了先進的納米光刻和等離子體蝕刻技術，以滿足技術上最具挑戰性的制造環境的需求。該系統集成了一個完全集成的平臺,以緊湊的外形提供了一系列流程功能,以適應各種應用程序。AKT Endura 5500是一款功能強大、高速、基於空缺的單元，設計用於納米電子的開發和生產。該機由多個部件組成，包括4軸電動級、靜電夾具、級控制資產、射頻發生器、高真空室。為確保最佳模型和工藝性能，AMAT ENDURA 5500配備了車載集成曝光控制設備；該系統監測暴露持續時間、傳遞到基板的能量量和電場強度。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT ENDURA 5500還裝有一個獲得專利的靜電夾緊裝置，可確保圖樣結構的質量得到精確和統一的復制。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500還包括一臺能夠產生高達5 kW功率的大功率風冷射頻發電機。這確保了必要的等離子體功率可用於蝕刻過程和低於100 nm的特性。該機器還配備了等離子體沈澱源，能夠處理堅韌的材料。此外,集成軟件還提供多種功能,使客戶能夠從單個訪問點監視和控制該工具。在Endura 5500提供的半導體工藝能力中，該資產能夠處理大量材料，包括氮化物薄膜、多晶矽、銅、金屬氧化物等。該模型還配備了自動過程控制和可調諧參數，以補償正常過程變化。這種設備的多功能性也使得它吸引了各種各樣的應用，包括CMP、光刻、基板粘合、圖樣傳遞和鈍化。APPLICED MATERIALS Endura 5500的設計也確保了它高度可靠、耐用、易於維護和操作。該系統采用溫度控制，並配有集成傳感器和反饋回路，以確保每次運行均勻的處理條件。此外,由於其自我診斷功能,該設備能夠實時檢測任何故障並向用戶發出警報,從而減少了停機時間。最後，AMAT Endura 5500代表了現代納米電子學技術的巔峰。它的集成平臺在很小的空間內提供了一系列的流程功能,其高級功能使其成為各種應用程序的理想選擇。