二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9217151 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種高性能反應器，設計用於處理半導體制造過程中復雜的材料加工。5500是一種高度先進的設備，能夠執行化學氣相沈積（CVD）、原子層沈積（ALD）和遠程等離子體蝕刻（RPE）等多種工藝。它為每個應用程序提供嚴格的過程控制，具有低壓、高沈積速率和出色的均勻性。5500是為高產量和最大成本效率而設計的。采用直接陶瓷加熱和主動瀝青控制，提供快速加熱時間和優異的工藝重復性。它還有一個先進的冷卻系統，從反應室中進行了優化的熱去除，以防止對底物的熱損傷。AKT Endura 5500還具有用於電感耦合等離子體應用的集成射頻功率單元。這樣可以精確控制等離子體功率,從而在降低功率水平和降低損壞沈積速率的情況下實現先進的蝕刻過程。5500配備了先進的搬運機，允許基板的快速裝卸、更快的循環時間和提高的吞吐量。它還具有一套全面的應用功能，包括蝕刻、沈積和植入。該工具為每個應用程序提供模板，提供安全和可重復的處理，幾乎不需要操作員幹預。AMAT ENDURA 5500是一種功能強大且可靠的半導體制造工具,可為用戶提供更高的產量和成本效率。它具有卓越的工藝重復性，對等離子體參數的精確控制，以及一系列的應用能力。5500以其先進的特性和可靠的性能，是半導體加工的理想選擇。