二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9221707 待售

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圖為 已使用的 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 待售
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已售出
反應爐
製造商
AMAT / APPLIED MATERIALS
模型
Endura 5500
ID: 9221707
優質的: 1993
PVD System Chambers: (4) PVD chambers (2 TiN and 2 Al) (2) Degas chambers (1) Preclean chamber CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887 CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001 CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001 CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001 CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001 CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887 CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001 MKS Type 627 Pressure Transducer MKS Type 627 Pressure Transducer MKS Type 627 Pressure Transducer CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001 CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001 CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001 CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001 CTI-CRYOGENICS Valve 8112095 CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001 CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control MKS Type 627 Pressure Transducer Endura Wafer Lift Assembly 101 Rev. 003 0010-70271 8" Preclean II RF Match 0010-20524 (Label PN 0060-21140) Endura Wafer Lift Assembly Preclean 2 Rev. 003, 21902-08 MKS Type 627 Pressure Transducer 0010-20277 8" Degas Lamp 350C 0010-20317 8" Degas Lamp 350C 0010-20317 CTI-CRYOGENICS On-Board Module 8113100G001 CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001 Gas Box #1 0010-20217 Rev. B CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887 CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001 Loadlock A (11) Loadlock B (0620-01049) Operator Control Panel BD Assy. 0100-20032 Rev. D ViewSonic E55 Monitor VCDTS21914-2M Standalone VGA Monitor Base 0010-70386 Rev. A Gas Box #2 0010-20218 Rev. B Gen Rack #1 ADVANCED ENERGY MDX-L12M ADVANCED ENERGY MDX-L12-650 ADVANCED ENERGY MDX-L12M-650 Gen Rack #2 ADVANCED ENERGY MDX-L12M ADVANCED ENERGY MDX-L12M Gen Rack #3 ADVANCED ENERGY LF10A COMDEL RF Power Source CPS-1001S GRANVILLE-PHILLIPS Ionization Gauge Supply 332102 15V PS Assembly 24V PS Assembly CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001 CPRSR High Perf Model 9600 3620-01389 Rev. A CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001 Thornton 200CR CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135917G001 CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135909G001 NESLAB BOM # 327099991701 EBARA A30W EBARA A70W HARMONIC GEAR UGH50-28 VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG-A1 GEORG FISCHER V 82 Supply voltage: 480 VAC, 3 phase, 50/60 Hz Max system rating: 150 kW Largest load ampere rating: 42 A Interrupt current: 10,000 Amps IC 1993 vintage.
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AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是為半導體制造業設計的大面積等離子體加工設備。該系統可用於通過等離子體蝕刻和沈積處理多種晶片，包括矽和藍寶石。也可用於屏障層、氧化物層、薄膜堆棧等多種其他用途。AKT Endura 5500是一個獨立的、完全集成的單元，包含一個工藝室、氣櫃和工藝控制模塊。這允許對包括壓力、氣體和功率設置在內的多個功能進行獨立控制,從而可以根據特定應用對過程進行精確定制。機器還包括多種屏蔽材料,以保護用戶免受刀具環境中存在的高電壓和高溫的影響。該資產被設計為對工藝室的溫度、功率和氣流進行高度精確的控制。電源級別從300W到5000W不等,允許進行多種流程設置。腔室溫度維持在1033攝氏度至1133C之間，而壓力範圍為0.002托至760托。另外，腔室的流量可以從0.18升/分鐘到15升/分鐘不等。AMAT ENDURA 5500還通過其離子和中性粒子質譜儀（IPMS）提供實時現場分析。這使操作員能夠監控等離子體環境並實現對過程的精確控制。此外,該模型還具有改進的過程控制模塊,可提供增強的設備診斷和過程優化。此外，AKT ENDURA 5500提供了增強的安全功能，包括故障檢測系統和防護性氣體包絡，以容納任何溢出物。這確保了人員的安全和過程的完整性。ENDURA 5500是一個高效的熱處理單元,旨在實現精確的過程控制和可重復性。是先進半導體器件制造與集成的理想選擇。它為矽片的蝕刻和沈積等工藝提供了一個可靠、經濟高效的解決方案。通過實時現場分析和設置範圍，這臺機器非常適合各種應用。
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