二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9228344 待售
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已售出
ID: 9228344
晶圓大小: 8"
優質的: 2006
PVD System, 8"
Wafer shape: SNNF
Umbilical length: 25Ft
Front panel type: Painted
Light tower: R / Y / G
Buffer robot: HP + metal blade
Transfer robot: VHP with metal blade
Chamber F: Orienter / Degas
Chamber E: Orienter / Degas
Chamber C: Pre clean 2e
Chamber B: Cool down
Chamber A: Pass through
Chamber 1: Standard body AL4 finger
Chamber 2: SIP_TTN with bias ESC
Chamber 4: TN_Durasource_TTN A101
Includes:
Main body
Chiller
Rack 1
Rack 2
AC Power box 2
AC Power box 1
Cryo compressor / Totes
System power: Variable / 150 kVA
Transformer type: Variable / 150 kVA, 480V - 380V
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種先進的加工半導體工具,專為高生產力蝕刻和沈積而設計。該設備具有很高的可重復性、高均勻性和最高的生產率。該工具有兩個獨立的腔室,允許同時蝕刻和沈積過程,以及遠程等離子體源操作提供額外的靈活性。內置的過程監控軟件允許操作員同時調節兩個腔室,確保結果一致。AKT Endura 5500配備了最先進的多壓路機架構,將蝕刻沈積的多重功能整合為一個集成系統。ETCH&DEPOSITION (E&D)排氣室和工藝室是共用的,保證了高產量和長壽命。該裝置還具有溫度控制能力,有助於在蝕刻和沈積過程中保持準確的溫度。AMAT ENDURA 5500構建了大量的專業特性,使其適合各種應用。它配備了一個AutoGas™的自動化氣體輸送機,提供增量稀釋控制和過程開發過程中減少體力勞動。該工具還提供經過優化的低壓晶片轉移,以最大程度地降低晶片粒子產生的風險。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500由於具有超高密度的功率沈積能力,是制作厚度和密度精確的薄薄材料層的絕佳工具。該資產在物料利用方面也非常高效,是節約成本的一大優勢。APPLIED MATERIALS Endura 5500已被用於成功蝕刻沈積多晶矽、氧化矽、鋁、銅等材料。它為用戶提供了一個經濟的解決方案,以滿足他們的半導體生產需求,以及可靠的性能。該工具的長期可靠性和解決問題的能力使其成為面向生產的工作的絕佳選擇。
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