二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9228722 待售
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ID: 9228722
晶圓大小: 8"
優質的: 2006
PVD Systems, 8"
Wafer shape: SNNF
Front panel type: Painted
Light tower: R / Y / G
Transfer chamber: VHP Robot
Wide body loadlock
(4) Chambers
Buffer robot: HP+ Metal blade
Transfer robot: VHP With metal blade
Chamber A: Pass through
Chamber B: Cool down
Chamber C: Pre clean
Chamber E & F: Orienter / Degas
Chamber 1: Standard body AL4 finger
Chamber 2: SIP TTN With bias ESC
Chamber 4: TN Durasource TTN A101
Transformer type: Variable / 150 kVA, 480 - 380 V
System power: Variable / 150 kVA
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種創新的反應堆，旨在滿足現代半導體制造工藝的需求。該反應堆將高質量的制造和堅固的工程與先進的材料和技術相結合，以提高可靠性和工藝重復性。AKT Endura 5500采用了功能齊全的基於PC的控制設備,它提供了廣泛的編程功能和功能,允許靈活、精確的過程控制。AMAT ENDURA 5500旨在滿足所有薄膜塗層、沈積和蝕刻工藝要求。這種緊湊的模塊化系統為各種工藝提供了接受和集成多種材料和技術的能力。自動腔室控制減少了操作人員的手動調整要求，同時提供了適應各種流程的靈活性。直觀的圖形單元也可用於完整的操作控制。Endura 5500的標準特性包括堅固的鐘形罐設計,帶有四個邊緣焊接的平板襯裏,以實現高效的工作環境。反應堆還包括可調節的一觸式升降機、自動腔室裝卸和全密封雙快門。為了額外的安全，該機還配備了自動真空泄漏檢測工具。ENDURA 5500的工作溫度範圍為-20°C至+300 °C，基板溫度為-20°C至+170°C。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500配備了強大且節能的頻率交換直流電（DCS）電源，用於精確的過程控制。資產還能夠執行一系列沈積和蝕刻過程，從快速熱處理到化學氣相沈積，以及電阻加熱、擴散等等。憑借先進的能力和高質量的制造，AKT ENDURA 5500是現代半導體制造工藝的理想選擇。它設計為可靠和可重復,並具有準確的過程控制,以提高效率。反應堆滿足了半導體工業的嚴格要求，為當今最苛刻的工藝提供了一個特殊的模型。
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