二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9257279 待售

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圖為 已使用的 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 待售
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已售出
反應爐
製造商
AMAT / APPLIED MATERIALS
模型
Endura 5500
ID: 9257279
優質的: 1993
PVD System Chambers: (4) PVD chambers (2 TiN and 2 Al) (2) Degas chambers (1) Preclean chamber CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887 CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001 CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001 CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001 CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001 CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887 CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001 MKS Type 627 Pressure Transducer MKS Type 627 Pressure Transducer MKS Type 627 Pressure Transducer CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001 CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001 CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001 CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001 CTI-CRYOGENICS Valve 8112095 CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001 CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control MKS Type 627 Pressure transducer Endura Wafer lift assembly 101 Rev. 003 0010-70271 8" Preclean II RF Match 0010-20524 (Label PN 0060-21140) Endura Wafer lift assembly preclean 2 Rev. 003, 21902-08 MKS Type 627 Pressure transducer 0010-20277 8" Degas Lamp 350C 0010-20317 8" Degas Lamp 350C 0010-20317 CTI-CRYOGENICS On-Board Module 8113100G001 CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001 Gas Box #1 0010-20217 Rev. B CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887 CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001 Loadlock A (11) Loadlock B (0620-01049) Operator Control Panel BD Assy. 0100-20032 Rev. D ViewSonic E55 Monitor VCDTS21914-2M Standalone VGA Monitor Base 0010-70386 Rev. A Gas Box #2 0010-20218 Rev. B Gen Rack #1 ADVANCED ENERGY MDX-L12M ADVANCED ENERGY MDX-L12-650 ADVANCED ENERGY MDX-L12M-650 Gen Rack #2 ADVANCED ENERGY MDX-L12M ADVANCED ENERGY MDX-L12M Gen Rack #3 ADVANCED ENERGY LF10A COMDEL RF Power Source CPS-1001S GRANVILLE-PHILLIPS Ionization gauge supply 332102 15V PS Assembly 24V PS Assembly CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001 CPRSR High Perf Model 9600 3620-01389 Rev. A CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001 Thornton 200CR CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135917G001 CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135909G001 NESLAB BOM # 327099991701 EBARA A30W EBARA A70W HARMONIC GEAR UGH50-28 VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG-A1 GEORG FISCHER V 82 Supply voltage: 480 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz Max system rating: 150 kW Largest load ampere rating: 42 A Interrupt current: 10,000 Amps IC 1993 vintage.
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AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是設計用於半導體工業的高端自動化反應堆設備。該系統作為一個通用的生產平臺，能夠處理廣泛的過程任務。這包括沈積、蝕刻、氧化、氫化和化學氣相沈積（CVD）。AKT Endura 5500的主機架由一個集成的清潔室、氣體模塊和溫控樣品室組成。清潔室用於在其他過程開始之前使腔壁失活。氣體模塊提供氦氣、氮氣、氙氣和氧氣的均勻供應。樣品載體的溫度可調節至30°C至400°C的精確溫度。總的來說，AMAT ENDURA 5500是一個先進的單元，從一臺機器結合了精度、重復性和可靠性。它的全過程自動化（TPA）使操作員能夠使用單個解決方案監控、控制和記錄復雜的流程。這是通過其用戶友好的圖形用戶界面（GUI）和專有的PID控制工具完成的。資產的流程控制器提供了許多流程控制功能,例如實時流程監控、配方管理和集成數據日誌記錄。此外，該模型還配備了流程自動化功能，允許公式優化和開發新流程。ENDURA 5500具有很高的可重復性,這是產生高質量結果所必需的。腔壁的抗汙染能力更強，因此從一個階段到下一個階段都能達到相同的效果。恩杜拉5500是為半導體生產而優化的可靠的高端反應堆設備。它的自動化過程、過程控制功能和數據記錄系統使其成為滿足關鍵工業需求的理想選擇。APPLICED MATERIALS ENDURA 5500結合了重復性、可靠性和工藝優化，是該領域的一顆真正的寶石。
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