二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9274513 待售
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已售出
ID: 9274513
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
PVD System, 8"
(4) Process chambers
(2) AL Chambers
(2) Ti/TiN Chambers
(2) Degas orientor chambers
Signal tower
System power supply
Control unit
CTI-CRYOGENICS Cryo-compressor
Cryo-pump
Main frame:
Load lock type: Narrow
Buffer robot type: HP+
Buffer robot blade
Transfer robot type: HP+
Transfer robot blade
Components:
System controller
Generator rack
Main AC
Cryo compressor
NESLAB Heat exchanger
Chamber A:
Process type: PASS
Chamber B:
Process type: COOL
Chamber E:
Process type: Orientor
Chamber F:
Process type: Orientor
Chamber 1:
Process type: Hot-AL
Chamber body: Standard
Source lid
Magnet: 0010-20225
Heater / Pedestal: A101 HTR
Shutter
Cryo / Turbo pump
Gate valve
MDX-L12 RF / DC Generator
Chamber 2:
Process type: TIN
Chamber body: Wide
Source lid
Magnet: 0010-20225
Heater / Pedestal
Cryo / Turbo pump
Gate valve
MDX-L12M RF / DC Generator
Chamber 3:
Process type: TIN
Chamber body: Wide
Source lid
Heater / Pedestal
Cryo / Turbo pump
Gate valve
MDX-L18M RF / DC Generator
Chamber 4:
Process type: Hot-AL
Chamber body: Standard
Souece lid
Magnet: 0010-20225
Heater / Pedestal: A101 HTR
Shutter
Cryo / Turbo pump
Gate valve
MDX-L6 RF / DC Generator
Missing parts:
Chamber 3:
Magnet
Massflow
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種高通量等離子體蝕刻反應器，通常在半導體工業中用於基材蝕刻等關鍵過程。5500被設計為提供卓越的工藝控制，在整個基板區域卓越的均勻性。這座反應堆的堅固設計使多個配有多種工藝氣體的腔室得以實際達到預期的效果。它設計為在1 Torr （1.33 kPa）的壓力範圍內運行，沒有泄漏，並配備了先進的源功率匹配設備，允許無限制的等離子體匹配，確保整個蝕刻區域的最高均勻性水平。AKT Endura 5500由其自動化控制系統提供動力,在要求苛刻的蝕刻應用程序上最大限度地提高了吞吐量和生產率。工藝監測和控制系統能夠控制各種工藝參數，包括氣體輸送、壓力、流量、摻雜劑/源沈積和蝕刻速度。同時，它的低壓操作最大限度地減少了顆粒的產生，提高了工藝產量和裝置的均勻性。AKT Endura裝置還包含先進的共濺射和第三代唇形技術，可提供高精度的掩蔽和目標控制。這些允許您精確控制所有類型材料上蝕刻層的輪廓。這使用戶能夠精確控制蝕刻輪廓，確保關鍵晶片的特性統一且定義明確。AMAT ENDURA 5500是為高工藝可靠性而設計的,在較少的維護會話中獲得了好處,從而優化了生產壽命。它具有遠程、互鎖的維護功能,使用戶能夠在不中斷過程的情況下執行維護或校準任務。此外,機器還采用機械和熱成像工具進行設計,以幫助檢測肉眼可能看不到的隱藏損壞,在發生電氣短路風險時提醒操作員。ENDURA 5500作為一種先進的蝕刻資產,在設計時考慮了安全性。經SEMI S2認證的三級安全模型設計,無需緊急停止開關。因此，消除了危險、不受控制的壓力損失風險。AMAT的APPLIED MATERIALS ENDURA 5500設備提供了一個強大的工具，用於制造需要精密和高質量的復雜元件（半導體行業中的Ulta-High-K蝕刻）。憑借其堅固的設計、卓越的工藝控制能力和安全系統，這款等離子蝕刻反應堆是一項強大的生產資產，將幫助您獲得最高質量的成果。
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