二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9283205 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500是為半導體制造而設計的多功能反應堆。該設備設計用於加工各種基材，包括矽、鋁、銅、氮化物和藍寶石。該系統能夠實現低溫快速熱處理、快速熱結晶以及高達400°C/秒的溫度上升/下降速率。AKT Endura 5500采用革命性的雙室設計,允許批量或連續基板加工。下室，即加工室，能夠承受高達1200 °C的溫度。上室充當石英管成形室，可容納多種長達六英寸的基板。該機組擁有先進的燃氣控制機，擁有十條獨立的燃氣管線，允許用戶精確設置燃氣流量。AMAT ENDURA 5500的最大載荷容量為8個4英寸晶圓或2個8英寸晶圓。該工具有一系列加熱選項，如Theta和E-beam，以及直流和射頻電源。該資產采用集成冷卻模式，確保基板安全運行和均勻冷卻。AMAT Endura 5500設備配備了安全警報器和機械晶片斷裂判別器等先進的安全功能。該系統符合安全方面的SEMI標準,可配置為在潔凈室環境中運行。該設備提供了完整的文檔和軟件,允許用戶配置機器和監視流程參數。總之，ENDURA 5500是一種用途廣泛且可靠的工具，提供廣泛的基材加工能力。集成的安全特性、先進的氣體控制和精確加熱選項使資產非常適合各種需求。該型號適用於潔凈室，符合SEMI標準。