二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9352786 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500反應堆是一種多室沈積蝕刻設備，設計用於大批量生產應用中快速、均勻、可重復的工藝。該系統具有專有的模塊化工藝室,旨在與現有和未來的材料兼容和靈活。它還提供了一系列蝕刻和沈積解決方案，增加了均勻性和過程控制。AKT Endura 5500反應堆是一個設計獨特的雙室幹蝕單元，第一室提供沈積樣和低能反應性離子蝕刻（RIE）處理，第二室提供蝕刻和沈積，蝕刻速率更高。本機兼容多晶矽、SiNx、a-Si： H、AlN、AlGaAs等多種不同材料。它非常適合LED顯示器、MEMS、納米技術、微流體和半導體等多種應用。AMAT ENDURA 5500反應堆提供了快速斜坡上升和超高溫均勻性等多種優勢能力。它具有多室結構和高狀態過程控制機制，提高了過程的準確性和可重復性。此工具還提供高級監視功能,這些功能使用復雜的工具集實時提供晶圓級條件的直接反饋。利用自適應過程控制和過程方差控制技術，大大提高了過程控制和晶圓均勻性。此外，AMAT Endura 5500具有最小的可逆材料損耗，可以優化加工室的蝕刻配方，從而最大限度地提高蝕刻均勻性。Endura 5500反應堆是一種經濟高效且用戶友好的資產，旨在提供卓越的蝕刻和沈積性能、增強的均勻性以及對工藝參數的更大控制。APPLIED MATERIALS Endura 5500具有先進的監控功能、與不同材料的兼容性和高容量的功能,為各種應用程序和行業提供了全面的解決方案。