二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9373104 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura 5500是一種高性能、低成本、高端的直列物理氣相沈積（PVD）反應器，用於先進的薄膜加工。主要用於沈積金屬層，如銅、鋁、鈦、鎢等，也可用於沈積各種其他非金屬膜。AKT Endura 5500提供多種特性，使其適合半導體、顯示屏、太陽能和LED生產等多種應用。它是一種用於薄膜沈積的高度可靠、全自動的串聯設備，由於其在整個工藝區域內的溫度和壓力控制均勻，為用戶提供了改進的工藝均勻性。這樣可確保整個批次的薄膜厚度均勻一致。由於內置了AMAT ENDURA 5500的高級流程控制,手動流程可以實現自動化,從而減少了制作高質量、高級影片所需的時間和工作量。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500還提供了較低的擁有成本,並通過優化晶圓到晶圓的循環時間提供了最大的吞吐量。ENDURA 5500以其固定的熱壁設計，實現了最大的均勻性、穩定性和壽命。夾套系統將沈積過程中蒸汽和其他汙染物進入工藝區域的風險降至最低。APPLIED MATERIALS Endura 5500還提供板載源和屏蔽監視器,可確保源和屏蔽壓力不斷受到監控,以確保過程的可重復性和一致性。此外，內置高速數字離子束槍允許材料快速準確的沈積，以實現極致薄膜沈積。Endura 5500還具有集成的流程控制器和流程監視器,允許用戶在單元操作期間簡化控制、診斷和數據分析。AKT ENDURA 5500配備了自動化的源交換機，允許用戶在需要時快速更換源，設計方便維護維修。APPLIED MATERIALS ENDURA 5500是一種高性能、經濟實惠、簡單可靠的PVD輸出反應器裝置，專門設計用於在基板上輸送各種薄膜層。它提供卓越的性能和較低的擁有成本。