二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293757041 待售
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ID: 293757041
晶圓大小: 12"
優質的: 2009
PVD System, 12"
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一種等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器，是一種高端、高性能的沈積設備。該系統旨在生產用於半導體等行業的薄膜。它是一種基於底物的氣相沈積技術，通常用於沈積氧化物、氮化物、多晶矽、金屬和其他半導體材料，用於一系列應用。AMAT Endura CL利用具有雙縱向磁控管的熱蒸發器，並配有低壓電容耦合等離子體（CPL）源，以實現原子層沈積（ALD）等精密沈積應用。該單元還具有一個亞層冷壁室，用於在100°C和300°C的溫度範圍內沈積，以增加沈積速率，同時保持較低的底物溫度。通過其兩步過程,APPLIED MATERIALS Endura CL能夠創建各種復雜結構,如異質結構、定制的厚度幾何形狀和內部應力梯度。利用此功能,客戶可以在單個反應堆中配對CPL和ALD,以獲得最佳性能。機器還提供了一個自動化的控制工具，以簡化配方和放松優化過程，同時實現高沈積可重復性。該資產具備先進的集成軟件和硬件功能,旨在促進易用性和改進效果。此外,板載診斷模型還處理預防性維護,以減少停機時間並防止不必要的服務請求。Endura CL旨在提高生產效率、設備可靠性和工藝靈活性,以滿足客戶在半導體行業的生產需求。兩種沈積技術的集成通過結合、優化和控制兩種不同沈積技術的參數，幫助客戶縮短產品上市時間。此外,由於AMAT/APPLICED MATERIALS Endura CL,客戶可以受益於高吞吐量和低擁有成本
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