二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293757992 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL反應性離子蝕刻器（RIE）是一種高性能的工具,旨在實現高級晶圓處理。它是需要精確、可重復蝕刻過程的應用程序的理想工具。AMAT Endura CL能夠處理各種各樣的材料，如矽、和砷化​​銨，能夠應對一系列蝕刻速率和深度。該設備采用氣體和等離子體組合，提供精確和經過驗證的蝕刻工藝。通過其多種工藝氣體和對摻合物的控制，系統能夠以均勻性、重復性、精確度等多種材料進行蝕刻。APPLICED MATERIALS Endura CL配備了高性能電子回旋共振（ECR）等離子體，裝在超高真空室中，最大限度地減少了電荷堆積對晶圓表面的影響。該裝置還采用了改進的真空控制機，使刀具能夠達到並維持所需的工藝條件，以達到最大性能。Endura CL也有許多安全特性的設計。該資產配備了原位危險監測儀，可連續檢測有害氟化氫和其他物種的水平，在達到不安全水平時可編程關閉模型。該設備還配備了幾個快門系統，這些系統允許和禁用進入蝕刻器某些部分的通道，在此過程中可能儲存或使用有害材料。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL還具有可互換組件,旨在減少與日常維護相關的停機時間。可以快速輕松地更換組件,而無需拆卸和組裝任何系統組件,從而比傳統系統節省了時間和金錢。AMAT Endura CL允許快速蝕刻模塊交換和柔性腔室,能夠在晶圓尺寸和工藝應用之間切換,而不會中斷任何工藝。APPLICED MATERIALS Endura CL反應性離子蝕刻器（RIE）是一種用於先進晶圓蝕刻工藝的強大而可靠的工具。能夠處理多種材料、使用多種氣體和實施增強的安全功能,使用戶能夠以可重復的蝕刻速率和深度處理晶片,從而提高效率和精度。快速輕松地更換組件的功能有助於減少與維護相關的停機時間和成本,而柔性腔室使設備能夠在晶圓尺寸和處理應用程序之間快速切換。