二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293807107 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，用於薄膜沈積。它使用了發生沈積過程的圓柱形等離子體膨脹區。反應堆配備了多種特性，可實現精確的層控制和更好的沈積均勻性。它有一個有兩個嵌入式源的加熱系統，石英棒和嵌入式水冷。這有助於保持精確的溫度範圍，並能夠更好地控制沈積過程。它的靈活性促進了不同薄膜的不同工藝條件，包括溫度、壓力和氣流。AMAT Endura CL也能夠製作具有廣泛動態範圍的高品質影片。反應室有一個石英圓頂和兩個電極，放置在反應堆的兩側。電極用於產生等離子體場，有助於分解前體氣體分子，形成均勻的沈積。APPLICED MATERIALS Endura CL還配備了氣體分銷商和陽極，通過控制工藝氣體分布幫助改善膜的均勻性。此外，它的過程控制單元（PCU）提供了對沈積過程的精確控制，包括精確的壓力水平、氣體流量和功率設置。Endura CL旨在以可靠和高效的方式實現可重復、受控、穩定的沈積過程。這使得它適用於廣泛的應用，包括半導體蝕刻、光學塗層和微加工。AMAT/APPLICED Materials Endura CL的多用途沈積使其成為精密沈積細線薄膜的理想選擇。AMAT Endura CL通過與AMAT生產線的無縫集成,提供了極大的靈活性和最大的價值。