二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9191120 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL
ID: 9191120
Chamber AL TxZ CPI-VMO.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一種先進的PECVD反應器,旨在實現下一代半導體器件的制造。AMAT Endura CL配備了可配置的工藝室架構,使其能夠輕松適應各種工藝配方。它提供了與現有基板、光學膜、塗層和金屬的卓越兼容性。APPLICED MATERIALS Endura CL具有創新的屏蔽雙爐設計,可實現先進的溫度控制,使工藝室的溫度在廣泛的工作溫度範圍內保持在精確的水平。由此,反應堆可用於制造厚度和均勻性控制嚴密的光致抗蝕劑、聚矽等材料的均勻層。此外,Endura CL還配備了新的多束淋浴臺設備,通過均勻分散加工氣體,顯著降低了腔室壓力波紋,從而提高了整體蝕刻速率和均勻性。該系統還通過最大限度地減少顆粒堆積來減少總維護時間。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一種高端PECVD反應堆,為最關鍵的設備制造應用提供無與倫比的性能。它有一個先進的光學單元,允許高度精確的薄膜厚度測量和處理精密塗層具有緊密的公差範圍。AMAT Endura CL還提供了廣泛的監控功能,允許用戶監控工藝參數和腔室條件。APPLICED MATERIALS Endura CL是一種高度先進的PECVD機器,可實現最高質量和最可靠的半導體器件制造工藝。其獨特的雙爐設計和堅固的淋浴臺工具提供了無與倫比的多功能性和高度的過程控制。其精密的光學資產有助於精確的薄膜厚度測量和均勻性。此外,其用戶友好的界面和監控功能使其成為要求最苛刻的設備制造應用程序的絕佳選擇。
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