二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9200110 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一種先進的矽基物理氣相沈積（PVD）反應器，常用於半導體器件制造。其設計目的是在大批量生產中實現先進的沈積處理技術。AMAT Endura CL PVD反應堆采用模塊化平臺設計，為配置廣泛的工藝集成提供了極好的靈活性。前置加載、基於腔室的體系結構可輕松容納各種工具組件。這為用戶提供了方便的訪問和維護,同時允許單獨定制,從而允許在單個平臺上進行高級流程集成。反應堆利用先進技術在一系列基質上實現最高質量的沈積。反應堆使用了一系列工藝氣體，包括高反應性有機矽烷，以實現對薄膜結構和均勻性的嚴格控制。在較高的溫度下，可以得到較高的沈積速率，甚至更密集的薄膜。此外，反應堆能夠快速加熱和冷卻底物，從而使生產能夠快速周轉。APPLICED MATERIALS Endura CL反應堆具有多種先進的材料處理和廢物管理特點。材料在反應堆頂部附近裝載，然後由一系列機械臂通過系統移動。廢物管理由一個閉環材料回收系統管理，該系統允許無汙染作業和更高的產量。反應堆的設計還可以實現良好的工藝控制，對溫度、壓力、氣流和壓力安全殼進行精確控制。通過對這些參數的高級控制,用戶可以實現嚴格的質量要求,並在一系列基板上實現更大的均勻性。總體而言，Endura CL是為矽基大批量生產而設計的先進PVD反應器。它為用戶提供了為各種過程集成定制的極好的靈活性,從而實現了具有快速周轉時間和高產率的高級沈積技術。利用精確的工藝控制參數以及先進的材料處理和廢物管理，用戶可以在一系列基板上實現出色的薄膜均勻性。