二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9236845 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Endura CL是半導體工業中用來加工和制造薄膜結構的一種化學反應器。用於化學氣相沈積（CVD）、原子層沈積（ALD）和等離子體增強沈積（PED）的材料制造薄膜。該反應堆的設計具有很高的均勻性和可重復性。AMAT Endura CL采用了可編程快門陣列的合乎要求的淋浴源設計.這允許在大面積基板上均勻和可重復地沈積薄膜。源設計也進行了優化，以盡量減少副產物的形成，確保高產率。該腔室經過設計，可實現快速的熱斜坡上升和冷卻時間，使沈積過程能夠快速高效地完成。APPLICED MATERIALS ENDURA CL反應堆使用堅固的過程控制設備,能夠自動控制過程參數。這允許在沈積過程中精確控制溫度、壓力和氣體流量。該系統還支持在該過程中使用最多三種前體氣體和兩種反應氣體的靈活性。這使得膠片的化學性質能夠根據特定的應用要求進行調整。Endura CL還配備了原位等離子體發生器，旨在確保可重復的等離子體蝕刻過程。這可以精確控制蝕刻過程，並有助於減少沈積過程中的底切量。該單元還支持不同材料的蝕刻，包括金屬、氧化物、氮化物和其他半導體。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL設計方便維護。機器的腔室具有一個設計，能夠方便地去除源和地板組件。這樣可以快速訪問工具的內部組件,並實現快速高效的維護操作。該資產還具有高級診斷模型,能夠快速診斷任何故障,並有助於防止計劃外停機。最後，AMAT Endura CL是一種化學反應器，設計用於沈積用於半導體應用的薄膜。該設備具有高度的均勻性和可重復性，具有自動化的過程控制以及快速的坡道和冷卻時間。該系統還具有等離子體蝕刻能力和堅固的診斷單元，有助於確保可靠的操作。