二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9237067 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL
ID: 9237067
晶圓大小: 12
優質的: 2003
PVD system, 12" 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一種設計用於生產的高性能化學氣相沈積(CVD)反應器。它被用於薄膜沈積和加工、半導體制造及相關行業,是先進制造工藝的組成部分。AMAT Endura CL配備了許多功能,以最大限度地提高精度和效率,如封閉式工藝室、雙路徑處理能力、優化冷卻以及內置的疏散設備。封閉式工藝室允許嚴密控制的環境,具有獨特的設計,促進溫度分布均勻,溫度穩定性優越。雙路徑處理可實現高度高級、多層和多材料沈積。冷卻系統可以進行優化,以節省能源和工藝時間,內置疏散單元,使氣體能夠快速高效地從腔室中清除。這保持了氣體的純度,允許一致的沈積。APPLIED MATERIALS Endura CL還具有高級工藝監控功能。溫度、液體和氣體流量以及壓力都受到監控,從而創建了一個近乎實時的過程視圖。這提供了對機器性能的可見性,從而實現了更高的一致性和精度。Endura CL的整體過程穩定性為+/-1攝氏度,支持多種沈積過程,包括金屬有機物、電化學、原子層和物理氣相沈積。它還能夠生產各種材料,從金屬到氧化物再到電介質。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Endura CL是一個先進的CVD解決方案,旨在幫助實現效率最大化、提高吞吐量並提供一致的高質量結果。憑借先進的工藝監控、雙路徑處理能力和優化的冷卻,它是精密IC、MEMS和薄膜處理的理想工具。
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