二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9237267 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL反應設備是一種高效可靠的高通量反應器，旨在讓客戶優化工藝和材料性能。AMAT Endura CL是一種先進的自動化低壓化學氣相沈積（LPCVD）解決方案,旨在經濟高效地生產精確的在線多層薄膜。APPLICED MATERIALS Endura CL是一個垂直的、自下而上的沈積系統,它以每次運行300 mm晶圓的速度同時處理一個或兩個目標。它具有用戶友好的界面和直觀的工作表,允許用戶在處理平臺和快速訪問產品參數之間輕松傳輸晶圓。Endura CL的設計目的是在短周期內提供高產率,並能夠在高達800°C的溫度下同時處理不同的薄膜。高級控制器可監控溫度、工藝氣體流量和壓力設置,以精確控制工藝條件,並具有可重復和一致的結果-即使在處理多個批次時也是如此。腔室配有全自動射頻匹配網絡，可確保最佳等離子體均勻性，從而改進工藝控制和產量。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL使用戶能夠生產出具有高度一致性和可重復性的復雜而精確的多層薄膜。該單元可以沈積一系列通常用於半導體和顯示底板應用的高密度薄膜，包括抗反射、鈍化、p-間隔器、屏障和金屬薄膜。AMAT Endura CL還包括實時端點監控機（REMS）和高級均勻性映射（AUM）等高級診斷工具，幫助用戶快速調整流程參數，優化生產產量。APPLIED MATERIALS Endura CL是一款用戶友好、用途廣泛的反應工具,旨在滿足先進制造業不斷變化的需求。這是一個可靠和經濟高效的方式，以生產精確的多層薄膜具有一致和可重復的結果。