二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9247978 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Endura CL是一種高通量的集群級反應器，設計用於半導體工業的高容量、精密蝕刻和沈積應用。AMAT Endura CL反應器可以單步處理高長寬比（HAR）和復雜結構。它配備了一個集成的集群系統，包括兩個處理室、兩個裝載鎖、一個預處理室和一個後處理室。APPLIED MATERIALS Endura CL的第一個加工室是高密度等離子體蝕刻室。它有一個四電極，13.56 MHz的射頻等離子體系統，與氫、氯和氟基化學相兼容。該室還設有用於均勻等離子體分布的擴散淋浴頭、用於氣流控制的質量流量控制器（MFC）和用於排氣的渦輪泵。Endura CL的第二處理室是高速沈積室，設計有雙線圈平面線圈源。這種多腔室技術允許使用同一工具處理小型、高長寬比（HAR）結構和復雜結構。該室還具有用於過程控制的射頻和直流電源、用於均勻性的擴散淋浴以及用於過度蝕刻的集成洗滌器。預處理室在加工前用於預清洗基板，後處理室用於保護裝置免受汙染，防止不需要的材料沈積。後處理室配有離子泵和集成洗滌器選項，用於蝕刻後的清洗和清洗。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL的載荷鎖采用自動柔性機器人設計，提供快速、低顆粒載荷和卸載操作。該機器人與工具集保持一致，以確保平穩運行和最小化粒子。AMAT Endura CL專為大批量生產而設計，配備24小時遠程監控系統，以實現在線維護和監控。該反應器非常適合制造MEMS、集成電路產品和薄膜器件。它是一種高效的多腔蝕刻和沈積工具，能夠處理各種基材、幾何形狀、材料和工藝。