二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9275824 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL （Cluster Reactor）是一種先進的化學氣相沈積（CVD）聚類工具，用於半導體工業中，用於先進的晶圓加工。AMAT Endura CL憑借其專利設計，提供快速、均勻、可靠的晶圓加工，低粒度生成。APPLICED MATERIALS Endura CL能夠同時進行熱和等離子體輔助CVD工藝以及蝕刻和灰分工藝。這種靈活性允許設備用於多個晶圓處理步驟。反應堆采用垂直7室設計，並裝有自動晶圓處理系統。主室高度為6米，直徑為1.2米，非常適合大小晶片的均勻加工。腔室最多可容納8英寸晶片，最大容量為200個晶片層。該室設計用於化學保形沈積，與粉末和液體前體兼容。腔室的設計包括一系列錯綜復雜的石英插件和蓋，以防止晶圓刮擦和粒子產生。Endura CL的設計可提供高達每小時500個晶圓的快速處理速度,並能在低功耗、無成本維護的情況下實現高吞吐量。該工藝室是完全密封和加壓，以防止汙染和保持微粒產生到最低限度。反應堆有一個可調的氣流控制和溫度控制單元，使用戶能夠調整沈積過程的條件。該機還配備了先進的等離子體源和控制器，用於精確控制等離子體輔助蝕刻和灰分工藝條件。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是按照最嚴格的質量標準構建的,保證了可重復的工藝性能。它是為了滿足最先進的晶圓制造工藝的要求而設計的，非常適合在生產環境中使用。配備了最新的安全功能和警報器，確保持續安全高效運行。