二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9281524 待售

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL Reactor是專為先進微電子器件制造而設計的高度先進的集群工具。該反應堆利用可擴展的集群系統，為客戶提供提高設備性能的靈活性和可升級性。AMAT Endura CL反應堆采用了Sub-Stride Chamber （SSC） Technology等一系列偉大特性，使得晶圓對晶圓加載誤差大幅減少。這項技術的基礎是采用低成本、低維護、低靜電容量的腔室填充工藝。APPLICED MATERIALS Endura CL Reactor也利用程式沈積（PD）特性。這一特征確保了特定層的均勻沈積，並允許單層和數字化沈積多達四層。這樣可以更快、更準確地沈積。Endura CL反應堆還提供獨特的等離子體邊緣隔離（PEI）技術,以提高設備性能。此功能有助於最小化設備泄漏,增加蝕刻速率,並使沈積更加平滑。此外，該反應器還具有先進的原位端點和薄膜質量感應功能，可實現最佳、實時的蝕刻和剝離效果。AMAT/APPLICED MATERIALS Endura CL Reactor也設計用於業界領先的工藝一致性和穩健的工藝控制。這是通過使用互鎖的動態四區間隙軌道加熱器和原位端點檢測實現的，這允許精確的劑量和溫度控制。AMAT Endura CL反應堆還建有業界領先的晶圓處理系統，以支持高吞吐量、快速接入、低汙染和易於維護。該反應堆的設計提供快速冷卻和預熱時間，允許快速基板轉換和優秀的晶片到晶片的吞吐量。APPLICED MATERIALES ENDURA CL反應堆為先進的微電子制造提供了最佳的性能和能效.這座反應堆的集成特性結合了高級工藝控制能力，使得亞微米級微芯片和其他復雜的裝置結構的制造變得最為可靠和高效。