二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9281532 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL反應器是一種用於晶體生長和半導體加工的先進、穩定漂移的設備,非常適合超高真空環境中的沈積和擴散過程。CL代表Crystal Layer，指的是反應堆中可以產生的高度可重現的薄膜，而Endura則表示沈積和擴散過程的長期穩定性。該系統配備了雙絲源，因此兩種材料可以集成到一個反應堆腔室中。整個單元可通過其無氦四重加熱器加熱至1500 °C，利用感應加熱提高整個晶片的均勻性。此外,機器還有一個電源,可以提供多達750A的直流電.群E光束槍是為精確、高密度的光源應用而設計的；它有一個3軸掃描儀，用於均勻地分布電流密度。它利用大功率脈沖調制器為基板提供最大通量，並在LED或激光二極管中提供更長的壽命。該設計還采用了熱壁式環境，從而提高了單晶片工藝的均勻性。擴散和氧化過程得益於固有的高溫均勻性；熱墻設計不需要額外的均勻化技術，從而在沈積過程中實現更高的控制和精度。反應室是一種低成本、閉環的工具，可導致具有成本效益和均勻的薄膜沈積。此外，它還有一個機器人集成的源交換器，提供快速和方便地訪問各種材料。為提高沈積質量，資產具有基壓特性，可以對過程中的氣體壓力進行精確控制。最後，該模型具有用於設備監控和過程控制的分析和反饋循環，提供了有關過程環境、過程參數以及系統健康和維護的詳細信息。因此，AMAT Endura CL反應堆確保了可靠和可重復的外延生長，並提供了卓越的工藝效率、可靠性和均勻性。