二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9281539 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL設備是為先進集成電路（IC）制造而設計的單晶圓工藝工具。該系統經過精心設計,可提供功能、技術、質量和可靠性的理想組合,同時實現大面積晶片的經濟高效制造。它包括一個高級控制器,它提供自動和手動過程優化功能,以最大程度地減少周期時間和用戶幹預。AMAT Endura CL單元結合了幾個不同的標準工藝室和最新的等離子體源技術，並基於先進的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）平臺。機器使用高效的感應耦合等離子體（ICP）源在腔室中生成均勻、均勻的等離子體，提供從晶圓到晶圓的一致過程窗口。這樣就實現了可重復的過程控制,這對於改進高級制造的產量和可靠性至關重要。此外，APPLIED MATERIALS Endura CL工具使用高真空濺射源進行薄膜沈積，消除汙染，確保高質量的工藝效果。該資產是針對各種流程要求而設計的。它最多支持六個流程模塊,並且可以在Cleanroom或Class 1環境中處理測試。它還能夠「即時」監測和控制這一過程，以取得最佳結果。通過各種工藝配方和創新工藝控制，可以實現工藝的時空均勻性。Endura CL模型提供精確控制的加熱、冷卻和對流系統，以確保整個腔室的溫度控制一致。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL設備中還提供高吞吐量、精確的晶圓處理和安全的樣品管理功能。采用直觀的自動晶圓處理系統,實現了快速樣品傳輸.晶圓模擬器也可以用來消除手動尺寸測量的需要，減少數據采集中的錯誤需要。AMAT Endura CL單元經過專門設計,可降低成本並優化周期時間,同時提供可靠的制造質量。機器還有一個全面的技術支持和培訓計劃作為後盾，確保用戶擁有操作工具的知識、工具和支持。新資產旨在為經濟高效的高級IC制造提供單模塊平臺。