二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9313580 待售

AMAT Endura Cluster （CL）反應器是一個單晶圓、高溫、高真空的過程室。這種創新的電容器穩定電感耦合等離子體工具是為滿足最具挑戰性的制造需求而設計的，提供了高工藝一致性、生產率和可靠性。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL反應堆采用垂直幾何設計，以確保目標晶片在整個區域內暴露於均勻的等離子體條件下，允許在很大的晶片區域上非常嚴格的控制過程參數。EnduraCluster反應堆的高真空環境對於實現可重復的過程結果以及確保最大組分壽命至關重要。低壓降低了系統內元素的擴散，允許更快的基板加熱和冷卻，並吸收過程中任何不需要的顆粒。可變壓力和溫度範圍允許各種不同的過程，包括蝕刻、沈積、條帶、ALD和CVD。AMAT Endura CL使用專利的感應耦合等離子體源，賦予其優越的均勻性和穩定性。電極設計的簇狀構型導致等離子體電流均勻，因此蝕刻速率或沈積速率甚至遍及整個晶圓。電容器穩定的電源確保電流水平在整個過程中保持一致，從而產生可重復的性能和優異的收率。在過程控制方面,APPLIED MATERIALS Endura CL提供了卓越的可重復性和高精度。該系統先進的分布式反饋控制系統確保配方參數的準確度高，每次都產生精確、可重復的制造結果。通過預先掃描的敏感器傾斜技術進一步增強了精度控制，使晶圓弓最小化，基板覆蓋率最大化，最終導致加工更加均勻。Endura CL是滿足各種先進制造需求的首選產品。其智能可靠的平臺使其成為許多苛刻應用的去到反應堆。通過AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL提供的可靠、可重復和統一的流程與其智能系統相結合,使其成為任何最先進的生產環境中必不可少的工具。