二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9390615 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL是一種材料沈積的反應器。它設計用於矽基沈積系統，如CVD、PECVD和ALD。AMAT Endura CL通過熱墻垂直向下的陶瓷襯砌缸設計運作。此設計可實現晶片表面的卓越均勻性、改進的就地清潔（CIP）能力以及長期耐用的操作。反應堆由幾個部件組成，如加熱器、源氣體、淋浴頭、HF/RF偏置、燈絲、陽極、柵極和擋板。APPLICED MATERIALS Endura CL中心的電阻加熱元件由鉬絲（或鎢絲）組成。此元件由高達3.25 kW的直流電源供電,溫度可高達925°C。加熱器能夠進行多種過程，包括外延生長、薄膜沈積和熱退火。源氣體通過連接到反應堆頂部的氣體歧管送入Endura CL。最常用的兩種氣體是矽烷（SiH4）和乙硼烷（B2H6）。過程中最多可使用四種氣體。對流速和腔室壓力進行了仔細監測，以確保最佳沈積條件。反應堆頂部的噴頭設計成將氣體均勻地分配到反應室中。HF/RF偏置、燈絲和陽極結合，提供了蝕刻晶片表面的電勢。網格和擋板用於包含生成的等離子體。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL反應器廣泛應用於矽片的制造過程，從薄膜沈積到熱退火。堅固的加熱器和源氣體的結合使得AMAT Endura CL成為大批量生產的可靠高效的反應堆選擇。它能夠沈積質量優良、均勻性提高、吞吐量更高的薄膜。應用材料Endura CL是長期高效生產的理想選擇。