二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura HP #293625477 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP是為等離子體處理和化學氣相沈積（CVD）應用而設計的高性能過程反應器。AMAT Endura HP是Endura CVD系統標準線的升級，能夠顯著提高許多反應堆配置中的底物吞吐量。APPLICED MATERIALS Endura HP具有獨特的高壓高溫（HPHT）蝕刻室，配備了最新的先進等離子體和CVD工藝，使生產過程具有靈活性，提高了晶圓表面的均勻性。HPHT腔室采用高檔SS304不銹鋼、優越的氧化鋁絕緣材料構成，與其他標準CVD系統相比提供優越的均勻性。通過降低清理和維護成本,此設計也更加高效。Endura HP配備了石墨增強感應耦合等離子體（GEICP）源，可調以達到最優反應堆性能。GEICP源提供了良好的等離子體均勻性，提高了晶片與晶片的一致性，並對等離子體和沈積過程進行了更精細的控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP還提供精密的溫度控制功能。它可以直接控制工藝室內任何位置的溫度和壓力,以便針對特定的應用程序或晶圓類型定制不同的工藝。AMAT Endura HP可以配置為運行多個過程模塊和高級材料沈積算法。這提供了卓越的生產多功能性，最大限度地提高基板吞吐量的好處，同時優化層厚度均勻性。這樣可以提高產量,降低擁有成本,提高晶圓質量.APPLIED MATERIALS Endura HP還包括端點監控功能和高級分析軟件,可提供對流程性能的詳細見解。總體而言,Endura HP是一個高級高性能CVD工藝反應堆,專為提供性能、生產力和便利性的最佳融合而設計。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP反應堆具有先進的GEICP采購和復雜的工藝控制和溫度控制功能,可提供卓越的工藝一致性、可重復性和生產潛力,同時縮短工藝時間並提高擁有成本。