二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura HP #9085295 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP是一種用於確保許多先進微電子設備的可靠晶圓制造的工具。它是一個由蝕刻/灰室和沈積室兩個特征組成的建築，兩者都采用了先進的內置等離子體源和腔室設計。等離子體源有助於產生反應性氣體，如碳氟化合物、氫氣和氮，然後與半導體材料反應並引起化學反應。這最終導致有效的沈積和蝕刻過程。AMAT Endura HP的腔室設計包括磁性輔助線圈，允許在整個反應堆腔室內實現一致、可重復甚至等離子體均勻性。它還具有負載鎖定功能，允許用戶在不使晶片暴露於反應堆外部環境的情況下加載和卸載晶片。此功能有助於在多批制造過程中保持過程穩定性和可重復性。APPLICED MATERIALS Endura HP的蝕刻/灰室可用於蝕刻和鈍化二氧化矽和氮化矽等各種材料。基板還可以經受各種溫度、壓力和其他參量，以提高工藝質量。沈積室可用於沈積金屬或電介質等材料，設計符合高精度和工藝重復性。該反應器的過程控制技術以先進的控制系統軟件為基礎，能夠控制溫度、壓力和電壓等參數，確保多批次的重復、最佳效果。這包括加載鎖定和同步功能,以進一步提高流程可靠性。Endura HP反應堆還與多種危險氣體兼容，允許遠程用戶訪問，用於過程監測和維護。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP也可用於從低溫到高溫的廣泛配方。爐室可在30-500 °C運行，並配有多個部件，提供均勻的溫度分布和適當的控制。總體而言，AMAT Endura HP反應堆以其廣泛的設計和先進的工藝控制技術，是許多微電子制造應用的理想選擇。它提供了可靠和可重復的晶圓制造過程以及長期的可靠性和增強的性能。