二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II Aluminum Interconnect #293813004 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II鋁互連反應器是一種基於等離子體的蝕刻設備，設計用於在大晶圓尺寸上蝕刻具有高度均勻性的鋁膜。該系統能夠產生精確和高分辨率的特性，而不會在鋁膜中產生任何損壞的應力或汙染。Endura II反應堆采用了精密的超高真空（UHV）環境和每秒20秒範圍內的電源，打造出高質量的蝕刻單元。Endura II反應堆設計用於處理多種鋁互連，既有單層結構，也有雙層結構。為了達到一致的蝕刻速率和均勻性，Endura II可以調諧放電功率、電壓和頻率。該機還可以很容易地調整，以優化不同的結構和組成層。Endura II還采用了先進的晶片控制和對準技術，以確保晶片保持在所需的位置，過程處於控制之中。Endura II反應堆的建造效率高，擁有成本低。它包含了節省成本的功能,例如自動裝卸、低級別維護要求以及改進的晶圓處理機制。它旨在以最低的停機時間和維護成本要求提供高產率。Endura II反應堆得到AMAT先進技術和綜合服務的支持。這包括模擬的高級工藝解決方案和一個全面的承諾監控計劃,為客戶提供對蝕刻工藝的完全控制。Endura II反應堆是鋁互連制造商可靠高效的介電蝕刻選項。