二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #117295 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種高性能的熱化學氣相沈積（CVD）反應器，能夠產生高質量的厚膜，具有極好的穩定性。AKT Endura II用於沈積多種材料，包括電介質、導體、屏障層和有機化合物。AMAT Endura II具有卓越的均勻性、卓越的速率控制和卓越的晶圓可重復性。APPLICED MATERIALS Endura II用於生產具有出色工藝穩定性和均勻性的厚膜。最終產品為高度穩定、均勻且無缺陷的薄膜。Endura II是一個單區、水平的CVD反應堆，由一個熱區（基板支架組件）和一個RF-等離子體發生器組成。熱區由加熱基板支架、樣品級和變速電機組成。射頻等離子體發生器為CVD過程提供輻射能量。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II允許精確控制沈積速率，高速度沈積的範圍為5至250 nm/s，低速度沈積的範圍為0.01至5 nm/s。AKT Endura II利用多頻等離子體源提高了膜的均勻性和工藝穩定性。發電機的設計是為了優化等離子體的生成和減少過程的輪廓。這有助於確保沈積均勻性最大化，同時過程保持穩定和可重復。多頻等離子體源也降低了過程的晶片對晶片的重復性。AMAT Endura II還融合了獨特的多長淋浴頭設計，可實現出色的沈積均勻性。噴頭由一系列層組成，每一層都有不同的長度，以便沿著腔室的長度均勻沈積。此外，APPLIED MATERIALS Endura II能夠使用範圍廣泛的溫度來容納不同的沈積配方。Endura II設計用於需要高質量CVD工藝的應用，如微電子、MEMS、光電器件制造等。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II能夠沈積介電和有機材料以及屏障層。AKT Endura II獨特的設計和先進的工藝能力使其成為需要高度均勻沈積、極好的重復性和工藝穩定性的應用的理想選擇。