二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293587288 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種全自動、垂直管、單晶片蝕刻/清潔反應器，設計用於半導體晶片的精密蝕刻和清潔。該設備設計用於生產現代半導體集成電路和其他相關組件。AKT Endura II由一個集中控制器模塊和氣箱、歧管、轉移模塊、排氣鼓風機等多個輔助部件組成。該系統能夠處理各種類型的基材，如矽、玻璃、金屬和塑料。它配備了船上過程控制、監測和數據采集系統。反應堆采用垂直管設計，允許在垂直方向上處理工件，以盡量減少重力載荷。該裝置采用露天工藝室設計，在工藝室外設有氣箱、歧管和轉移模塊。這種設計確保了不同氣體混合物的靈活性，以優化不同應用的蝕刻參數。該機既可加工平面晶片，也可加工非平面晶片，蝕刻結果均勻。該工具支持廣泛使用蝕刻氣體和化學物質，包括SF6（六氟化硫）、CF4（四氟甲烷）和Cl2（氯）。該資產還具有自動化的集中晶圓傳輸模型，確保晶圓處理的可重復性和一致性，並最大限度地減少汙染的機會。它有一個集成的排氣鼓風機，以保持恒定的工藝壓力，供應體積，並消除空氣中的顆粒。集成的熱控設備保證晶圓溫度均勻，針對不同的晶圓蝕刻參數進行了優化。集成過程監控和數據采集系統不斷記錄蝕刻和清潔過程的結果，允許對蝕刻和清潔過程進行實時優化，以保持較高的產品產量。該裝置能夠容納一些可選的外圍部件，如自旋沖洗儀器以及質量流和壓力傳感器。AMAT Endura II專為靈活、精確的半導體蝕刻和清潔應用而設計，使其成為生產現代半導體IC和其他相關組件的理想選擇。該機結合了垂直管設計、自動化集中式傳輸工具以及實時數據采集和過程監控,使其成為滿足半導體制造商蝕刻和清潔需求的高效可靠的工具。