二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293587508 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II反應堆是一種最先進的化學氣相沈積系統，為進行廣泛的化學反應和過程提供了強大而精確的平臺。該反應堆是在化學環境中引入和控制氣體種類的一種低成本、非熱的手段。具有化學氣相沈積、介電薄膜沈積、薄膜蝕刻、化學氣體蝕刻等先進特點。AKT Endura II反應器使用多種註入反應室的化學物質，結合氣態前體形成薄膜或蝕刻圖樣。微波發生器用於在低壓下在反應堆中生成等離子體，促進化學反應。在薄膜沈積的情況下，反應物通常是聚合物或矽烷（SiH4）。底物放置在反應堆中心，反應物種從位於反應堆周邊的出口註入腔內。然後將底物同時暴露於熱能和化學能中，以促進薄膜沈積。在化學蝕刻過程中，使用了多種蝕刻劑，如氫氟碳化合物（HFCs）、全氟化碳（PFCs）和氟基等離子體。蝕刻劑可以結合起來，達到更大的蝕刻深度。等離子體由磁場產生，由改變線圈內的電流產生。這會產生等離子體，加速底物的化學蝕刻。AMAT Endura II反應堆裝有多個傳感器，可以精確控制反應條件和工藝參數。這些傳感器用於測量陽極-陰極間隙、加熱器溫度、沈積速率、氣體水平、過程氣體壓力和溫度，以及在異常情況下能夠檢測和報警。APPLICED MATERIALS Endura II反應堆是工藝工程師的一種高度精確、經濟高效的解決方案。它提供了快速準確地準備薄膜沈積和蝕刻條件的能力，非常適合廣泛的行業使用。該系統靈活靈活，可用於從太陽能電池到平板顯示器的各種應用。