二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293615240 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種反應堆，設計用於半導體及相關行業的多個CVD、蝕刻和擴散過程應用。它是一種先進的工具,能夠提供卓越的流程性能、可重復的結果、更高的吞吐量和更長的使用壽命。AKT Endura II是一種直列RIE（Reactive-Ion Etch）工具，使用雙或單微波RF（射頻）發電機，為晶圓表面蝕刻提供必要的動力。2室配置允許在蝕刻過程中使用最多兩種蝕刻氣體。該工具具有線性掃描電子束（ESB），以解吸反應氣體和精確控制蝕刻深度。ESB還協助支持結構較小的蝕刻。AMAT Endura II的Endura RIE（E-RIE）技術提供了半導體結構的統一蝕刻，同時最小化了端點依賴性。APPLIED MATERIALS Endura II提供了完整的過程控制功能,如電源控制、溫度控制、流量控制、曝光時間控制和反應性離子蝕刻。它還提供了高度的基板靈活性，允許易於適應新的工藝環境。Endura II專為蝕刻和沈積應用而設計，使用戶能夠在同一腔室中以單步操作執行兩個過程。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II配備了允許過程自動化和優化的專有嵌入式軟件。該軟件還有助於確保過程的可重復性、提高總體產量以及提高IC制造的可靠性。該工具還具有內置的硬件和軟件安全防護措施，以確保流程和人員的安全。此外,它的模塊化設計允許輕松安裝、設置和維護。AKT Endura II專為生產優質半導體器件而打造，提供卓越的工藝控制和優化功能。其緊湊的占地面積和高效的操作使其非常適合生產車間和研發應用,而用戶則受益於可靠、可重復的結果和更高的吞吐量。