二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293615241 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是為先進的材料沈積過程而設計的高度先進的反應器。它能夠沈積多晶矽、矽的、Pt/Au、high-k/metal-gate、中間介電層等各種材料。它擁有高端集成電路產品的高通量非視線生產,為半導體行業提供了前所未有的生產力和靈活性。AKT Endura II是一個大型集群工具，配置了多達四個獨立的反應堆，排列在X-Y中，配置了多達52個熱局部輸送系統。結合Endura控制控制臺,可在5-500 nm範圍內實現可靠而精確的多過程沈積。反應堆還提供可配置的工藝耦合高通量晶圓清洗。它具有統一的加工能力、全方位的源到基板能力和全面的安全特性。該反應堆具有工藝靈活性，允許對低至250°C的基板溫度和高達+/-1000V的基板偏差進行全面熱控制。這反過來又允許沈積I.C.產品經常需要的錯綜復雜的高縱橫比特征。它還具有獨特的射頻調制能力，能夠在先進的I.C.s生產過程中對介電層和Pt/Au或其他材料進行三維圖樣繪制。它還具有三個可互換的氣體註入模塊，能夠在一個周期內對惰性氣體室進行氣體混合調節或改變。AMAT Endura II有一個基於決策的系統，利用傳感器和診斷工具的反饋來顯示過程參數和監測有價值的系統完整性信息。這使反應堆能夠快速了解和適應環境環境、溫度和壓力等一系列參數。它還有助於防止因意外情況而發生停機。最後,APPLIED MATERIALS Endura II利用了一個直觀的用戶界面,其中包含虛擬診斷、流程參數調整和若幹安全功能。這有助於簡化整個過程,使其比以往任何時候都更易於使用和更高效。其結果是一種通用、靈活、高效的工具,可顯著減少與高級材料沈積相關的時間和工作量。