二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293616134 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II是一種高性能氮化鈦（TiN）沈積反應器，設計用於高通量、經濟高效的芯片制造。AMAT Endura II具有大腔室設計和大批量生產芯片的吞吐量。設備是完全自動化的，允許精確的過程控制和精確的最終產品。該系統提供直接和遠程控制,便於集成到生產設施中。APPLIED MATERIALS Endura II是一種雙陰極裝置，允許兩種不同的沈積配置。這樣可以實現最佳的流程靈活性,並能夠根據一組精確的參數自定義流程。TiN層可以沈積在基板的各種厚度和方向上。該單元可配置為熱沈積或濺射沈積TiN層。Endura II提供精確的氣體輸送和沈積過程的精確控制。它可以配置為單通道或多通道沈積。該機配備了高精度的原位厚度監測器，用於工藝優化和最終產品控制。該工具有多個數據收集端口，以促進對流程的現場監測以及流程後分析。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II提供高級溫度反饋管理硬件和軟件,以確保整個過程中的精確溫度控制。該資產還可配置用於自動壓力監控模型,該模型允許對流程環境進行實時監控。該設備還具有多個可配置的報警器和自動關機功能，以確保員工的安全和產品的清潔度。AMAT Endura II提供了更高的產量,減少了停機時間並降低了維護成本。該腔室設計用於快速、方便的清潔和維護,從而減少系統停機時間。該室還有一個可移動的門，以方便維護和清潔。APPLICED MATERIALS Endura II旨在通過改進Si通量和提高產量來降低運行成本。