二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293617297 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II是一種用於制造半導體材料的化學氣相沈積(CVD)反應器。它是為無與倫比的過程控制和電源而建造的高性能設備。AMAT Endura II具有廣泛的工藝參數,包括壓力、溫度和反應物流動。它還包括多種診斷測量,如光發射光譜、質譜和表面晶圓表征。APPLIED MATERIALS Endura II結合了高溫過濾系統,以最大限度地提高氣體純度,提供優異的工藝重復性和產率。它的大反應室可以容納大晶片,直徑可達12英寸。反應堆還設有一個自動樣品傳輸模塊和一個集成的負載鎖,以盡量減少汙染和最大限度地提高吞吐量。Endura II還具有環繞反應室的惰性腔室。此特性允許維持高壓超壓,允許改進電弧運動和晶圓加熱控制。惰性室還可確保反應室的清潔環境,從而實現更好的過程控制。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II配備了強大的計算機控制過程控制單元。這允許用戶自定義腔室環境並將參數更改為每個進程的必要級別。此外,該計算機還包括一個流程診斷模塊,該模塊向用戶提供實時數據,從而實現流程優化。AMAT Endura II還包括遠程診斷和支持平臺。這使得AMAT能夠接收和分析流程和工具數據。該平臺還為故障排除和維護提供了指導和建議。總體而言,APPLIED MATERIALS Endura II是一種功能強大的高性能CVD反應器,非常適合低溫處理各種半導體材料。它是一種可靠、用戶友好且清潔的資產,可確保出色的流程產量、出色的流程可重復性和快速的吞吐量。
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