二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293617299 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II Reactor是一種集成的、計算機控制和溫度控制的濕處理設備，設計用於半導體行業的高通量批量處理。它帶有幾個模塊，如一個加工室、一個頂部微調器、一個底部微調器和幾個用於晶圓放置和處理的預對準站。AMAT Endura II反應堆設計用於加工直徑達200毫米的晶片，以及最大工藝總重150公斤的多達100個晶片。其堅固的結構確保了整個反應堆過程溫度的均勻分布和均勻性，確保了一致和可靠的結果。采用APPLICED MATERIALS ENDURA II反應器處理多步驟過程簡單。它的直觀用戶界面既易於使用,又易於導航,有助於最大程度地減少停機時間並增強過程控制。此外，反應堆具有多種工藝站配置，使其能夠創建濕蝕刻、清潔、幹燥和表面處理等工藝的多步驟組合。反應堆還配備了一個堅固的熱控制系統，用於在所有過程中進行精確的溫度控制和統一。反應堆能夠精確控制1至250罐溫度以及2000至10,000瓦功率。此外，反應堆的環境溫度控制裝置有助於保持整個燃燒室的溫度一致，並且旨在防止熱沖擊。反應堆能夠使用外部氣體輸送機處理一系列氣體，如氮氣、氧氣和氫氣。該輸送工具還能夠監測所有氣體流速，包括自動清除和壓力控制，以確保過程一致和安全。反應堆還包括廢物收集和處理資產，以便於清除過程副產品。此外,它還配備了最新的流程監控、數據記錄和趨勢特征,確保了多次運行中結果的可重復性和可靠性。Endura II Reactor被認為是在短時間內處理大量晶片的可靠且具成本效益的方法。其直觀的用戶界面和高精度的溫度控制模型每次都能提供一致可靠的結果，確保過程的質量和效率。反應堆還提供了廣泛的過程監測、數據記錄和趨勢分析能力，使其更容易跟蹤和監測反應堆多次運行的過程性能。