二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293624638 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II設備是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，用於半導體和介電膜制造行業，提供精確且可重復的工藝結果。AMAT Endura II是一種高性能的解決方案,可靠、經濟高效,可用於多種應用程序。它有幾個特點，包括直觀的觸摸屏用戶界面、用於精確溫度控制的固體加熱器、多種不同氣體輸入選項的已安裝氣體包，以及能夠快速精確地調節溫度、壓力和氣體流量。從氣體供應中抽出的反應物氣體流量由APPLIED MATERIALS Endura II的精確電子質量流量控制器（MFCs）控制。MFCs為整個反應物氣體範圍提供精確校準流量的精確控制，從而能夠精確控制反應堆內部的壓力、溫度和氣體濃度。反應物氣體和廢氣通過一條共同的排氣管線，用RotaFlow排氣和節流閥（RFTV）控制排氣。Endura II利用獨特的熱控系統，由三個隔熱區組成，位於基板支架基板上。其中一個區域，即沈積區，用於處理高達800C的溫度。另外兩個區域用於預調整和冷卻基板支架，然後在沈積過程後重新定位基板。AMAT/APPLICED MATERIALS Endura II單元的主室為高品位不銹鋼，與外界環境完全隔離，免去了真空機在整個過程中保持高純度的需要。為了提供精確的過程控制，AMAT Endura II使用高級控制器和反饋回路，提供對過程參數的實時監控。Endura工具上安裝了多種傳感器，並在整個沈積過程中采集樣品，提供可用於調整工藝條件和保持對工藝嚴格控制的數據。APPLIED MATERIALS Endura II資產還配備了文丘裏洗滌器和催化氧化劑，用於凈化廢氣和消除廢氣前的工藝副產物。這樣可以確保任何過程副產品或汙染物都不會逃脫模型,並且過程環境保持純凈。總體而言，Endura II設備是一種可靠可靠的CVD沈積工具，可提供精確的工藝結果和最大程度的可重復性。它配備了有效的控制和監測系統，並提供了相當程度的靈活性和可調節性，以達到最佳沈積結果。