二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293628318 待售

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ID: 293628318
晶圓大小: 12"
PVD System, 12" Process: Liner / Barrier Hard Disk Drive (HDD) not included.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II反應器是一種化學氣相沈積(CVD)設備。該系統用於創建各種材料的薄膜和塗層,這些薄膜和塗層可應用於表面以進行保護和其他用途。AMAT Endura II反應堆由一個裝有底物的腔室、一個過程氣體輸送單元、一個熱源和一個電源組成。APPLIED MATERIALS Endura II反應堆裝有多晶矽和氧化物CVD,單晶片機,一次最多可配置用於批處理六個6英寸或四個8英寸晶片。EnduraII反應器具有增強的沈積均勻性和良好的工藝控制.這個單元的特點是一個加熱的底物支架,允許底物在反應室中的均勻定位。這確保了所創建層的均勻性,也有助於減少基板上的汙染。反應室還提供出色的溫度控制,允許精確、可重復的薄膜厚度和均勻性。AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II反應堆即使在大面積基板上也能提供高度的均勻性。這是由於有多個可用的過程控制參數,這些參數可實現優化和可重復的性能。此外,AMAT Endura II反應器還具有高速沈積後冷卻功能,這有助於大大減少薄膜中的殘余應力,從而提高薄膜性能。APPLICED MATERIALS ENDURA II反應器在晶片上也提供了出色的膜厚均勻性,並在加工後提供微調參數,有助於保證均質層的形成和最佳的工藝產率。Endura II反應堆能夠處理各種氣體,包括矽烷和氧氣,可以在高達1100攝氏度的溫度下運行。此工具還提供各種選項,例如可編程邏輯控制器(PLC)和互鎖選項,以幫助用戶獲得最佳效果。AMAT/APPLICED MATERIALS Endura II反應堆具有出色的工藝控制和廣泛的工藝能力,是尋求可靠、高性能CVD資產的人們的絕佳選擇。
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