二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293640653 待售

AKT/AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一種具有等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）能力的間歇式反應室，旨在沈積多種薄膜，包括電介質、金屬和半導體。該反應堆在大氣和真空模式條件下運行，適合一系列應用。AKT Endura II由反應室、射頻電源（用於CCVD工藝）、偏置電源、氣體測序設備、真空系統和數據采集單元組成。AMAT Endura II反應室由不銹鋼製成，並設有離軸漏鬥進氣口，用於均勻的反應物分布。體積為20.7升，壓力範圍為0.001至1.00 Torr，底壓優於3x10-6 Torr。其最高溫度能力為600°C，配有6千瓦調節電源。射頻電源能夠產生0.3-300 MHz的頻率，最大功率輸出為1000 kW。另外，4個可編程電源允許獨立控制陽極和陰極功率。偏置電源的設計將過程控制從傳統的四象限操作擴展到八象限功能。偏置電源可獨立控制偏置探頭、陰極和陽極。Endura II采用六氣體定序器，可控制多達六個氣體入口，使復雜的過程能夠與多種氣體前體一起運行。真空機由增壓泵和渦輪分子高真空泵組成，產生高達8e-7 Torr的底壓。為了監控流程數據,APPLIED MATERIALS Endura II配備了用於收集、處理和顯示操作數據的數據采集工具。數據采集資產包括狀態/警報監視、SPC軟件和集成的控制/電源/偏置功能。總體而言，AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種高性能加工工具，配備了一系列功能，可精確控制薄膜沈積。其大氣和真空模式能力、射頻電源、偏置電源、氣體測序模型、真空設備和數據采集系統相結合，為許多薄膜沈積過程提供了可靠高效的單元。