二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293761335 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種垂直的單晶圓外延反應器，用於半導體晶圓表面納米結構的生長。它旨在生產RF和光電器件等最新的高性能半導體器件。AKT Endura II由高真空室、多個溫度控制區、用於源材料汽化的強大離心霧化器和獨特的反應性氣體分配設備組成。AMAT Endura II每次運行最多可容納六個晶圓，過程由經過驗證的閉環反饋系統控制。真空室設計為達到1毫巴或更低的工作壓力。機組配備了強大的供暖裝置，可在整個過程周期內自動調節。區域內的溫度輪廓可以獨立設置為-100至1000 °C。它還配備了四個獨立的徑向射頻霧化源，用於化合物沈積在晶圓表面上。Endura II也有獨特的反應性氣體分配機。該工具包括一個射頻激活的質量流控制器，它允許用戶精確控制和調整氣體壓力以優化過程。射頻活化氣體閥資產進一步有助於控制室內的壓力梯度和流動動力學。APPLIED MATERIALS Endura II也附有高端晶圓旋轉模型。轉速可以從0-750 rpm調整，晶片可以承受高達1000重力的離心力。這使得整個晶片的過程完全一致。除了這些功能外,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II還具有氣體監測設備、冷卻功能和低壓傳感器等多種安全功能。此外，他們還利用智能流程體系結構來存儲和分析來自多個晶圓的數據，以便進行統計分析。AKT Endura II獲得了SEMI Standard S2和S3級工藝的認證,非常適合各種半導體器件制造應用。