二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293815270 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種先進的等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）反應器。它設計用於高級介電薄膜的沈積，包括高k和低k材料。AKT Endura II通過其直接驅動的淋浴頭、先進的多點控制和先進的密封系統相結合，提供了高水平的性能。AMAT Endura II具有高精度的直驅淋浴頭，可實現大樣品表面均勻沈積。它還具有一個多點控制系統，可以在多個點精確控制沈積，從而產生均勻的沈積剖面。此外，APPLIED MATERIALS ENDURA II先進的安全殼系統提供了優良的排放控制，提供卓越的環保。Endura II能夠在真空和超壓模式下進行沈積，允許各種材料沈積。其沈積能力包括高k電介質和低k材料，使用戶能夠沈積各種復雜薄膜。反應堆還能夠進行高速率沈積，能夠提供高達80 nm的銅沈積速率。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II還提供了出色的工藝控制。AKT Endura II使用高精度的質量流量控制器（MFC）系統來精確控制流量並確保精確的過程控制。另外，反應堆配有集成射頻發生器，可用於控制PECVD沈積過程中的等離子體參數。AMAT Endura II也與公司的過程控制軟件高度兼容。該軟件為用戶提供詳細的過程監控，允許完全控制反應堆的沈積參數。APPLICED MATERIALS Endura II是一種先進的PECVD反應器，旨在提供高k和低k電介質的精確沈積。反應堆的直驅淋浴頭、先進的多點控制、先進的安全殼系統，都是為提供優越的沈積剖面和環境保護而設計的。該反應器能夠在真空和超壓模式下進行高速率沈積。此外,它的集成射頻發生器和過程控制軟件提供精確的過程監測和控制.