二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9130290 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是為半導體工業設計的高精度等離子蝕刻工具。用於晶圓和薄膜的蝕刻沈積及其他蝕刻工藝。AKT Endura II設備提供了最高的蝕刻均勻性和極低的蝕刻速率。它還提供了對蝕刻深度和形狀最精確的控制。該工具利用先進的過程控制技術和氮素等離子體源，以提供精確的蝕刻控制和一致的結果。系統分為三個不同的區域；冷卻區、等離子體區和蝕刻區。冷卻區負責控制蝕刻區的溫度，以獲得最佳蝕刻速率。等離子體帶包含用於生產等離子體的氮源和氣體控制系統。最後，蝕刻區是蝕刻過程實際發生的地方。AMAT Endura II單元利用真空技術控制工藝參數，確保精度。它對氧氣流速、氣體濃度和壓力等過程變量提供嚴格控制。為提高蝕刻的均勻性和準確性，該機還實現了自動電子束源。該源使工具能夠精確控制各種基板上的離子轟擊能量和蝕刻速率。該工具還提供了廣泛的監視功能和診斷。這使操作員能夠更好地了解蝕刻過程並發現任何問題。APPLIED MATERIALS ENDURA II資產具有監視各種工藝參數如總壓力、射頻功率和負載電壓的能力。該型號還配備了可編程的報警設定點和自我診斷設備，以提醒用戶註意任何異常。Endura II系統是一種非常精確的工具，非常適合大批量生產。它具有很高的蝕刻/沈積均勻性以及監測和控制各種工藝參數的能力。它還具有內置診斷功能,可幫助識別和糾正蝕刻過程中的任何問題。此外，AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II單元旨在與其他工藝集成，並最大限度地提高其蝕刻能力。
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