二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9151707 待售

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ID: 9151707
Chamber, 12".
AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II是一種高性能反應堆,用於半導體制造過程。設計用於制造高精度、高性能的半導體器件。該設備提供業界領先的流程功能、廣泛的自動化功能以及直觀的用戶界面。AKT Endura II結合了集成的可伸縮前開口端口和自動化的全場晶圓處理解決方案。這使系統能夠可靠地同時裝載和卸載多達8個基板。自動處理單元還提供了能夠實現納米精度的高速對準解決方案,以及聲學晶圓定心機。整個反應堆的自動化運輸確保了過程的一致和精確的重復性。AMAT Endura II提供了廣泛的沈積過程模塊,包括原子層沈積(ALD)、物理氣相沈積(PVD)、化學氣相沈積(CVD)、蝕刻、清潔和剝離。這使得沈積、蝕刻和清潔這三個常見的過程步驟都可以在一個步驟中執行。反應堆的智能控制工具提供了精確的工藝配方和測量現場和實時晶圓質量。這樣可以快速準確地調整工藝條件。資產還具有先進的傳感器技術,可以測量溫度、壓力、流量等過程參數。這樣可以對流程進行準確的實時監控,有助於保持一致的結果並減少廢品。APPLIED MATERIALS Endura II的自動化功能可實現高達80%的過程自動化,從而提高效率並縮短周期時間。Endura II實現了高產、高效制造各種半導體器件,如內存芯片、芯片模型和微機電系統(MEMS)。它在自動化、精確度和生產產量方面的進步使其成為半導體工業極具吸引力的反應堆。
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