二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9156594 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一個多功能的多工具反應堆平臺,非常適合在半導體、高級封裝、MEM和光電潔凈室環境中進行過程集成和縮放。此新一代解決方案具有創新的、可擴展的體系結構,旨在為高吞吐量、高級流程提供精確、可擴展性和更高的效率。AKT Endura II反應堆采用模塊化、多過程腔室設計，加上自動化機器人解決方案，最多可容納8個負載端口。多功能反應堆平臺具有各種晶圓尺寸和工藝能力，包括蝕刻、沈積、退火、幹法改造、定制ALD工藝、等離子體源/電源輸送和工藝配方開發。每個端口都可以支持多種過程，如帶有原子層沈積（ALD）的蝕刻、蝕刻/沈積和退火/沈積。集成的機器人解決方案允許從每個端口快速、高效地加載/卸載加工過的基板。AMAT Endura II先進的過程控制設備配備了先進的協同過程控制策略（CPC），以加快高級過程開發，優化過程效率。CPC利用眾多自動化和操作員邏輯算法來提高產品質量，穩定瞬態過程狀態，並監控過程度量以幫助減輕非統一性。中央過程控制站還提供直觀的用戶界面,確保易於學習的曲線和快速的產品傳輸。Endura II的開放式互鎖架構提供了無與倫比的防篡改安全性。該系統配有安全關機聯鎖裝置，這是一個符合現行安全規定的排氣裝置，與擁有專利的阻燃機的NFPA報告代碼完全兼容。APPLICED MATERIALS Endura II提供了廣泛的工藝室、供應櫃和多區溫度控制系列,以及各種原位和非原位工藝氣源、射頻電源和組件,為定制處理需求提供了更大的通用性。適應性強的基板和工藝模具配置為分布式加工提供了更高的精度,同時提供了無紫外線、動態溫度升高和延長工藝時間的鎖定負載功能。最後，AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II為一系列先進的半導體、MEM和光電潔凈室工藝提供了一個有效、可擴展的反應堆平臺。它的模塊化、多過程室設計、最先進的過程控制和防篡改安全解決方案為所有制造應用程序提供了改進的過程和用戶安全性、效率和可擴展性。