二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9161787 待售

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ID: 9161787
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
Chamber, 12" Software OS: Windows 2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種高通量、多晶圓反應堆設備,旨在簡化各種產品的半導體材料加工。該系統結合了AKT Endura平臺的吞吐量能力和AMAT先進技術的過程重復性。AKT Endura II反應堆具有模塊化設計,使用戶能夠同時集成多個過程,確保高效可靠的材料沈積。該反應堆能夠處理各種復雜的過程,包括光致抗蝕劑帶、降解、幹濕蝕刻、殘渣去除、灰化、沈積和其他先進化學。反應堆部件在清潔的環境中運行,可以依次運行多個晶片。它還具有用於統一溫度控制的多區環境和用於減少負載和卸載時間的快速變化晶片卡盤單元等先進功能。隨著FastFlow最大擴散塗層,AMAT Endura II提供了一個極快的擴散塗層工藝的圖案和扁平晶片。Endura II反應堆采用先進的部件建造,並設計了一系列自動化功能。它的自動化特性包括超高真空(UHV)環境,它提供了一個清潔、穩定的環境,使過程能夠穩定和可預測;用於容納多種晶圓尺寸的自動晶圓處理機;以及晶圓傳輸和過程自動化的機械臂。此外,該工具還有一系列溫度控制器,用於不同工藝部件的精確溫度控制。APPLICED MATERIALS Endura II反應堆堅固耐用,設計具有大量安全特性。它有幾個高速聯鎖、一個過程中止警報以及多種其他安全系統,以確保反應堆及其使用者的安全。此外,資產中的所有次要進程都記錄在模型的歷史記錄中,以便進行有效的流程跟蹤。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II from APPLIED MATERIALS是一種強大可靠的反應堆設備,旨在幫助降低材料加工成本。該系統采用模塊化設計、高級自動化功能和一套安全功能,提供高效可靠的材料沈積過程。
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