二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #9170922 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
已售出
ID: 9170922
晶圓大小: 12"
PVD Chambers, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II是一種先進的PECVD/低壓 CVD (LPCVD)反應器設備,設計用於各種薄膜的沈積。AKT Endura II提供了革命性的工藝室設計,並具有許多優點,包括改進沈積均勻性、更高效的工藝控制和提高生產率。AMAT Endura II的先進設計具有「隔離」效果,可確保薄膜均勻沈積在各種基材和晶片上。這種工藝腔室設計包括一個大體積的PECVD或LPCVD腔室和一個完全封閉的橢圓形沈積區,有一個氣體載體的中央入口口和兩個小腔室通風口位於腔室長度的三分之二以上。結果是氣體和壓力的單點入口,確保在所有基板和晶片上均勻沈積。Endura II還通過其獨特的氣體輸送系統提高了工藝控制和生產率。利用這一單元,APPLIED MATERIALS Endura II能夠精確控制氣體進入工藝室的體積、流量和定時。這使得它能夠沈積最佳薄膜而不會浪費時間或材料。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Endura II可以編程為在工藝運行期間自動在各種氣體之間切換以獲得最高質量的薄膜。最後,AKT Endura II比大多數競爭的PECVD或LPCVD反應堆效率高,能耗少,產生的排放量也少。這種高效設計和精確控制的結合使AMAT Endura II能夠減少周期時間並最大化吞吐量,提高生產率並降低總體成本。綜上所述,Endura II是一種強大高效的PECVD/LPCVD反應堆機器,設計用於薄膜沈積在廣泛的基材和晶片上。APPLIED MATERIALS Endura II通過其革命性的工藝室設計和先進的氣體輸送工具,提供了更好的沈積均勻性、更快的工藝控制和更高的生產率。
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